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高纯氦气的质量检测通常通过质谱仪进行。质谱仪是一种能够测量物质质量的设备，可以地测量出氦气分子的质量。首先，将高纯氦气通过质谱仪的离子源，使其离子化。然后，离子通过磁场或电场进行分离，根据其质量的不同，离子在磁场或电场中的轨迹也会不同。，通过检测器测量离子的数量，就可以得到氦气分子的质量。通过多次测量，可以得到高纯氦气的质量分布，从而判断其纯度。
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